|
Application of high-k gate dielectric multilayer Al2O3/TiO2/Al2O3 anodized film in IGZO thin-film transistors |
|
|
|
Titel: |
Application of high-k gate dielectric multilayer Al2O3/TiO2/Al2O3 anodized film in IGZO thin-film transistors |
Auteur: |
Xiao, Ni Zhang, Haojun Chen, Jianwen Tan, Haixing Liu, Si Zhu, Wenbo Wang, Xiucai Yu, Xinmei Xiao, Peng Chen, Deping Huang, Yu |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 36 () nr. 23 pagina's xx |
Jaar: |
2025-08-11 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|