|
Effects of thickness scaling on the dielectric properties of Hf0.5Zr0.5O2 ferroelectric thin films |
|
|
|
Titel: |
Effects of thickness scaling on the dielectric properties of Hf0.5Zr0.5O2 ferroelectric thin films |
Auteur: |
Hao, Puqi Li, Huashan Zeng, Binjian Yang, Qijun Tang, Tianqi Zheng, Shuaizhi Peng, Qiangxiang Liao, Jiajia Zhang, Sirui Zhou, Yichun Liao, Min |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 34 () nr. 13 pagina's xx |
Jaar: |
2023-05-04 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|