|
Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) for Co0.65Ti0.35 as a single barrier/liner in local Co interconnects |
|
|
|
Titel: |
Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) for Co0.65Ti0.35 as a single barrier/liner in local Co interconnects |
Auteur: |
Zhou, Xuebing Xu, Jing Gao, Jianfeng Liu, Jinbiao Zhang, Dan Liu, Yaodong Sun, Xianglie Kong, Mengjuan Li, Yongliang Li, Junfeng Wang, Wenwu Ye, Tianchun Luo, Jun |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 33 () nr. 17 pagina's 14063-14070 |
Jaar: |
2022-06-09 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|