|
Structure, content, and properties of 64Zn+ ion hot-implanted and thermal-oxidated Si |
|
|
|
Titel: |
Structure, content, and properties of 64Zn+ ion hot-implanted and thermal-oxidated Si |
Auteur: |
Privezentsev, V. V. Sergeev, A. P. Kirilenko, E. P. Goryachev, A. V. Zilova, O. S. Burmistrov, A. A. Batrakov, A. A. |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 32 () nr. 4 pagina's 4581-4591 |
Jaar: |
2021-02-01 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|