|
Influence of grain size of Cu target on its magnetron sputtering erosion and parameters |
|
|
|
Titel: |
Influence of grain size of Cu target on its magnetron sputtering erosion and parameters |
Auteur: |
Yang, Wenhao Zhao, Guohua Wang, Yupeng Wang, Shuaikang Zhan, Shangsong Wang, Duo Bao, Mingdong Tang, Bin Yao, Lijun Wang, Xueze |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 32 () nr. 21 pagina's 26181-26188 |
Jaar: |
2021-07-23 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|