|
FIB micro-milled sapphire for GaN maskless epitaxial lateral overgrowth: a systematic study on patterning geometry |
|
|
|
Titel: |
FIB micro-milled sapphire for GaN maskless epitaxial lateral overgrowth: a systematic study on patterning geometry |
Auteur: |
Jelmakas, E. Kadys, A. Dmukauskas, M. Grinys, T. Tomašiūnas, R. Dobrovolskas, D. Gervinskas, G. Juodkazis, S. Talaikis, M. Niaura, G. |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 32 () nr. 11 pagina's 14532-14541 |
Jaar: |
2021-05-04 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|