|
Radiation tolerance, charge trapping, and defect dynamics studies of ALD-grown Al/HfO2/Si nMOSCAPs |
|
|
|
Titel: |
Radiation tolerance, charge trapping, and defect dynamics studies of ALD-grown Al/HfO2/Si nMOSCAPs |
Auteur: |
Manikanthababu, N. Basu, T. Vajandar, S. Nageswara Rao, S. V. S. Panigrahi, B. K. Osipowicz, T. Pathak, A. P. |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 31 () nr. 4 pagina's 3312-3322 |
Jaar: |
2020-01-16 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|