|
Selective wet etching in fabricating SiGe nanowires with TMAH solution for gate-all-around MOSFETs |
|
|
|
Titel: |
Selective wet etching in fabricating SiGe nanowires with TMAH solution for gate-all-around MOSFETs |
Auteur: |
Cheng, Xiaohong Li, Yongliang Liu, Haoyan Zan, Ying Lu, Yihong Zhang, Qingzhu Li, Junjie Du, Anyan Wu, Zhenhua Luo, Jun Wang, Wenwu |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 31 () nr. 24 pagina's 22478-22486 |
Jaar: |
2020-11-02 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|