|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 25 van 100 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of growth and residual stress in AlN (0002) thin films on MEMS accelerometer design |
| Auteur: |
Gupta, Nidhi Dutta, Shankar Pandey, Akhilesh Vanjari, Siva Rama Krishna Kaur, Davinder |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 31 () nr. 20 pagina's 17281-17290 |
| Jaar: |
2020-09-01 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 25 van 100 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |