|
A stress sensor based on a silicon field effect transistor comprising a piezoelectric AlN gate dielectric |
|
|
|
Titel: |
A stress sensor based on a silicon field effect transistor comprising a piezoelectric AlN gate dielectric |
Auteur: |
Winterfeld, H. Thormählen, L. Lewitz, H. Yarar, E. Birkoben, T. Niethe, N. Preinl, N. Hanssen, H. Quandt, E. Kohlstedt, H. |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 30 (2019) nr. 12 pagina's 11493-11498 |
Jaar: |
2019 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|