|
Surface and interface studies of RF sputtered HfO2 thin films with working pressure and gas flow ratio |
|
|
|
Titel: |
Surface and interface studies of RF sputtered HfO2 thin films with working pressure and gas flow ratio |
Auteur: |
Das, K. C. Ghosh, S. P. Tripathy, N. Bose, G. Ashok, A. Pal, P. Kim, D. H. Lee, T. I. Myoung, J. M. Kar, J. P. |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 26 (2015) nr. 8 pagina's 6025-6031 |
Jaar: |
2015 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|