Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 13 van 61 gevonden artikelen
 
 
  Enhanced internal gettering in n/n+ epitaxial silicon wafer: coaction of nitrogen impurity and vacancy on oxygen precipitation in substrate
 
 
Titel: Enhanced internal gettering in n/n+ epitaxial silicon wafer: coaction of nitrogen impurity and vacancy on oxygen precipitation in substrate
Auteur: Dong, Peng
Liang, Xingbo
Tian, Daxi
Zhao, Jianjiang
Gao, Chao
Ma, Xiangyang
Yang, Deren
Verschenen in: Journal of materials science. Materials in electronics
Paginering: Jaargang 25 (2014) nr. 8 pagina's 3486-3491
Jaar: 2014
Inhoud:
Uitgever: Springer US, Boston
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 13 van 61 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland