|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 27 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Residual stress of AlN films RF sputter deposited on Si(111) substrate |
| Auteur: |
Zhong, Hui Xiao, Zhanfei Jiao, Xiangquan Yang, Jie Wang, Hualei Zhang, Rui Shi, Yu |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 23 (2012) nr. 12 pagina's 2216-2220 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 27 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |