|
Diffusion profiles and magnetic properties of Mn-implanted silicon after thermal annealing |
|
|
|
Titel: |
Diffusion profiles and magnetic properties of Mn-implanted silicon after thermal annealing |
Auteur: |
Chow, Lee Gonzalez, J. C. Barco, E. Del Vanfleet, R. Misiuk, A. Prujszczyk, M. Shunmugavelu, A. Chai, G. Bak-Misiuk, J. |
Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
Paginering: |
Jaargang 19 (2007) nr. 1 pagina's 263-268 |
Jaar: |
2007 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, Boston |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|