|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 14 van 96 gevonden artikelen
| Titel: |
Deposition of luminescent a-SiNx:H Films with SiH4–N2 gas mixture by VHF–PECVD using novel impedance matching method |
| Auteur: |
Kobayashi, S. Ohrui, N. Chao, Y. C. Aoki, T. Kobayashi, H. Asakawa, T. |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 18 (2007) nr. 1 pagina's 29-32 |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 14 van 96 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |