Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 14 van 45 gevonden artikelen
 
 
  Electrical characterization of MIS capacitors fabricated from ECR-PECVD silicon oxide and silicon nitride bilayer films
 
 
Titel: Electrical characterization of MIS capacitors fabricated from ECR-PECVD silicon oxide and silicon nitride bilayer films
Auteur: H. Castán
S. Dueñas
J. Barbolla
E. San Andrés
A. Del Prado
I. Mártil
G. González-Díaz
Verschenen in: Journal of materials science. Materials in electronics
Paginering: Jaargang 14 (2003) nr. 5 pagina's 4 p.
Jaar: 2003-05/07-/07
Inhoud:
Uitgever: Kluwer Academic Publishers, Boston, U.S.A
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 14 van 45 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland