|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 24 gevonden artikelen
| Titel: |
Effects of deionized water pressure and purified nitrogen gas on the chemical mechanical polishing process |
| Auteur: |
Kim, Sang-Yong Jeong, So-Young Seo, Yong-Jin |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 13 (2002) nr. 5 pagina's 299-302 |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 24 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |