|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Etch characteristics of Pt by using BCl3/Cl2-gas mixtures |
| Auteur: |
Kwon, Kwang-Ho Kang, Seung-Youl Kim, Sung-Ihl Hong, Nam-Kwan |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 13 (2002) nr. 4 pagina's 187-191 |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |