|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 18 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Optimization of post-CMP cleaning process for elimination of CMP slurry-induced metallic contaminations |
| Auteur: |
Seo, Yong-Jin Lee, Woo-Sun Kim, Sang-Yong Park, Jin-Sung Chang, Eui-Goo |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 12 (2001) nr. 7 pagina's 411-415 |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 18 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |