|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 16 van 33 gevonden artikelen
| Titel: |
Electrical detection and simulation of stress in silicon nitride spacer technology |
| Auteur: |
H. W. van Zeijl S. Mijalcovic L. K. Nanver |
| Verschenen in: |
Journal of materials science. Materials in electronics |
| Paginering: | Jaargang 12 (2001) nr. 4 pagina's 3 p. |
| Jaar: |
2001-06 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston, U.S.A |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 16 van 33 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |