|
Fabrication of low stress GaN-on-diamond structure via dual-sided diamond film deposition |
|
|
|
Titel: |
Fabrication of low stress GaN-on-diamond structure via dual-sided diamond film deposition |
Auteur: |
Jia, Xin Wei, Junjun Huang, Yabo Shao, Siwu An, Kang Kong, Yuechan Liu, Jinglong Chen, Liangxian Li, Chengming |
Verschenen in: |
Journal of materials science |
Paginering: |
Jaargang 56 () nr. 11 pagina's 6903-6911 |
Jaar: |
2021-01-12 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|