|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 30 gevonden artikelen
| Titel: |
Abnormal redeposition of silicate from Si3N4 etching onto SiO2 surfaces in flash memory manufacturing |
| Auteur: |
Teng, Kai-Wen Tu, Sheng-Hung Hu, Ssu-Wei Huang, You-Xin Sheng, Yu-Jane Tsao, Heng-Kwong |
| Verschenen in: |
Journal of materials science |
| Paginering: | Jaargang 55 (2019) nr. 3 pagina's 1126-1135 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 30 gevonden artikelen
| volgende >> |