|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 31 gevonden artikelen
| Titel: |
Potassium persulfate as an oxidizer in chemical mechanical polishing slurries relevant for copper interconnects with cobalt barrier layers |
| Auteur: |
Zhang, Lifei Wang, Tongqing Lu, Xinchun |
| Verschenen in: |
Journal of materials science |
| Paginering: | Jaargang 55 () nr. 21 pagina's 8992-9002 |
| Jaar: |
2020-04-24 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 31 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |