|
High-performance ultra-low-k fluorine-doped nanoporous organosilica films for inter-layer dielectric |
|
|
|
Titel: |
High-performance ultra-low-k fluorine-doped nanoporous organosilica films for inter-layer dielectric |
Auteur: |
Li, Ganglong Zheng, Guang Ding, Zijun Shi, Lei Li, Junhui Chen, Zhuo Wang, Liancheng Tay, Andrew A. O. Zhu, Wenhui |
Verschenen in: |
Journal of materials science |
Paginering: |
Jaargang 54 (2018) nr. 3 pagina's 2379-2391 |
Jaar: |
2018 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|