|
Synthesis and characterization of single-phase epitaxial Cr2N thin films by reactive magnetron sputtering |
|
|
|
Titel: |
Synthesis and characterization of single-phase epitaxial Cr2N thin films by reactive magnetron sputtering |
Auteur: |
Gharavi, M. A. Greczynski, G. Eriksson, F. Lu, J. Balke, B. Fournier, D. Febvrier, A. le Pallier, C. Eklund, P. |
Verschenen in: |
Journal of materials science |
Paginering: |
Jaargang 54 (2018) nr. 2 pagina's 1434-1442 |
Jaar: |
2018 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|