|
Hydrogen barrier performance of sputtered La2O3 films for InGaZnO thin-film transistor |
|
|
|
Titel: |
Hydrogen barrier performance of sputtered La2O3 films for InGaZnO thin-film transistor |
Auteur: |
Lee, Yujin Lee, Chong Hwon Nam, Taewook Lee, Sanghun Oh, Il-Kwon Yang, Joon Young Choi, Dong Wook Yoo, Choongkeun Kim, Ho-jin Kim, Woo-Hee Kim, Hyungjun |
Verschenen in: |
Journal of materials science |
Paginering: |
Jaargang 54 (2019) nr. 16 pagina's 11145-11156 |
Jaar: |
2019 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|