Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 16 van 50 gevonden artikelen
 
 
  Growth characteristics and electrical properties of SiO2 thin films prepared using plasma-enhanced atomic layer deposition and chemical vapor deposition with an aminosilane precursor
 
 
Titel: Growth characteristics and electrical properties of SiO2 thin films prepared using plasma-enhanced atomic layer deposition and chemical vapor deposition with an aminosilane precursor
Auteur: Jung, Hanearl
Kim, Woo-Hee
Oh, Il-Kwon
Lee, Chang-Wan
Lansalot-Matras, Clement
Lee, Su Jeong
Myoung, Jae-Min
Lee, Han-Bo-Ram
Kim, Hyungjun
Verschenen in: Journal of materials science
Paginering: Jaargang 51 (2016) nr. 11 pagina's 5082-5091
Jaar: 2016
Inhoud:
Uitgever: Springer US, New York
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 16 van 50 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland