|
Impact of the electrodeposition chemistry used for TSV filling on the microstructural and thermo-mechanical response of Cu |
|
|
|
Titel: |
Impact of the electrodeposition chemistry used for TSV filling on the microstructural and thermo-mechanical response of Cu |
Auteur: |
Okoro, Chukwudi Labie, Riet Vanstreels, Kris Franquet, Alexis Gonzalez, Mario Vandevelde, Bart Beyne, Eric Vandepitte, Dirk Verlinden, Bert |
Verschenen in: |
Journal of materials science |
Paginering: |
Jaargang 46 (2011) nr. 11 pagina's 3868-3882 |
Jaar: |
2011 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, Boston |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|