|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 34 van 59 gevonden artikelen
| Titel: |
Photoresist ashing technology using N2/O2 ferrite-core ICP in the dual damascene process |
| Auteur: |
Kim, Hyoun Woo Myung, Ju Hyun Lee, Jong Woo Kim, Hyung-Sun Kim, Keeho Jang, Jeong-Yeol Yoon, Tae-Ho Kim, Sung Kyeong Choi, Dae-Kyu Chung, Chin-Wook Yeom, Geun Young Myoung, Jae-Min Kim, Hyoung-June |
| Verschenen in: |
Journal of materials science |
| Paginering: | Jaargang 41 (2006) nr. 15 pagina's 5040-5042 |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 34 van 59 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |