|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 21 gevonden artikelen
| Titel: |
Reliability assessment of polysilicon MEMS structures under mechanical fatigue loading |
| Auteur: |
A. B. O. Soboyejo K. D. Bhalerao W. O. Soboyejo |
| Verschenen in: |
Journal of materials science |
| Paginering: | Jaargang 38 (2003) nr. 20 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2003-1015-15 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers, Boston, U.S.A |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 21 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |