Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 10 van 27 gevonden artikelen
 
 
  Influence of sputtering atmosphere on crystallinity and crystal orientation of AlN thin films deposited on polycrystalline MoSi2 substrates
 
 
Titel: Influence of sputtering atmosphere on crystallinity and crystal orientation of AlN thin films deposited on polycrystalline MoSi2 substrates
Auteur: M Akiyama
C Xu
K Nonaka
T Hagio
S Nishimura
K Shobu
T Watanabe
Verschenen in: Journal of materials science
Paginering: Jaargang 33 (1998) nr. 9 pagina's 5 p.
Jaar: 1998-0501-01
Inhoud:
Uitgever: Chapman and Hall
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 10 van 27 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland