|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 38 gevonden artikelen
| Titel: |
3D modeling of feature-scale fluorocarbon plasma etching in silica |
| Auteur: |
Rodrigues, Frâncio Felipe Aguinsky, Luiz Lenz, Christoph Hössinger, Andreas Weinbub, Josef |
| Verschenen in: |
Journal of computational electronics |
| Paginering: | Jaargang 22 () nr. 5 pagina's 1558-1563 |
| Jaar: |
2023-07-15 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 38 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |