|
Visible Photoluminescence of Non-Stoichiometric Silicon Nitride Films: The Effect of Annealing Temperature and Atmosphere |
|
|
|
Titel: |
Visible Photoluminescence of Non-Stoichiometric Silicon Nitride Films: The Effect of Annealing Temperature and Atmosphere |
Auteur: |
Vlasukova, L. A. Komarov, F. F. Parkhomenko, I. N. Milchanin, O. V. Makhavikou, M. A. Mudryi, A. V. Żuk, J. Kopychiński, P. Togambayeva, A. K. |
Verschenen in: |
Journal of applied spectroscopy |
Paginering: |
Jaargang 82 (2015) nr. 3 pagina's 386-389 |
Jaar: |
2015 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|