|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
Electrochemical investigation of the roles of oxyanions in chemical–mechanical planarization of tantalum and tantalum nitride |
| Auteur: |
Sulyma, C. M. Pettit, C. M. Surisetty, C. V. V. S. Babu, S. V. Roy, D. |
| Verschenen in: |
Journal of applied electrochemistry |
| Paginering: | Jaargang 41 (2011) nr. 5 pagina's 561-576 |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Netherlands, Dordrecht |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |