Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 3 van 14 gevonden artikelen
 
 
  Electrochemical investigation of the roles of oxyanions in chemical–mechanical planarization of tantalum and tantalum nitride
 
 
Titel: Electrochemical investigation of the roles of oxyanions in chemical–mechanical planarization of tantalum and tantalum nitride
Auteur: Sulyma, C. M.
Pettit, C. M.
Surisetty, C. V. V. S.
Babu, S. V.
Roy, D.
Verschenen in: Journal of applied electrochemistry
Paginering: Jaargang 41 (2011) nr. 5 pagina's 561-576
Jaar: 2011
Inhoud:
Uitgever: Springer Netherlands, Dordrecht
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 3 van 14 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland