Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 14 van 15 gevonden artikelen
 
 
  Simulation and experimental determination of the macro-scale layer thickness distribution of electrodeposited Cu-line patterns on a wafer substrate
 
 
Titel: Simulation and experimental determination of the macro-scale layer thickness distribution of electrodeposited Cu-line patterns on a wafer substrate
Auteur: Pantleon, Karen
Bossche, Bart Van Den
Purcar, Marius
Bariani, Paolo
Floridor, Gert
Verschenen in: Journal of applied electrochemistry
Paginering: Jaargang 35 (2005) nr. 6 pagina's 589-598
Jaar: 2005
Inhoud:
Uitgever: Kluwer Academic Publishers, Dordrecht
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 14 van 15 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland