| |
Angular Distributions during Magnetron Sputtering of Polycrystalline Mg, Al, Si, Ti, Cr, Cu, Zn, Ge, Zr, Nb, Mo, Ag, In, Sn, W, Pt, Au, and Bi Targets
|
| |
|
|
| |
| Titel: |
Angular Distributions during Magnetron Sputtering of Polycrystalline Mg, Al, Si, Ti, Cr, Cu, Zn, Ge, Zr, Nb, Mo, Ag, In, Sn, W, Pt, Au, and Bi Targets
|
| Auteur: |
Rogov, A. V.
Kapustin, Yu. V.
|
| Verschenen in: |
Instruments and experimental techniques
|
| Paginering: |
Jaargang 63 () nr. 5 pagina's 776-781 |
| Jaar: |
2020-09-23
|
| Inhoud: |
|
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow
|
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
|
| |
|
|
| |
|
Tijdschrift beschrijving