|
Chemical Composition of Boron Carbonitride Films Grown by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Trimethylamineborane |
|
|
|
Titel: |
Chemical Composition of Boron Carbonitride Films Grown by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Trimethylamineborane |
Auteur: |
Kosinova, M. L. Rumyantsev, Yu. M. Golubenko, A. N. Fainer, N. I. Ayupov, B. M. Dolgovesova, I. P. Kolesov, B. A. Kaichev, V. V. Kuznetsov, F. A. |
Verschenen in: |
Inorganic materials |
Paginering: |
Jaargang 39 (2003) nr. 4 pagina's 366-373 |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|