|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
Plasma etching: From micro- to nanoelectronics |
| Auteur: |
Shamiryan, D. Paraschiv, V. Boullart, W. Baklanov, M. R. |
| Verschenen in: |
High energy chemistry |
| Paginering: | Jaargang 43 (2009) nr. 3 pagina's 204-212 |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 13 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |