|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
Fine-line plasma-enhanced processes on the basis of a set of pilot units with a scalable inductively coupled plasma source for use in microelectronics |
| Auteur: |
Orlikovsky, A. A. Rudenko, K. V. Averkin, S. N. |
| Verschenen in: |
High energy chemistry |
| Paginering: | Jaargang 40 (2006) nr. 3 pagina's 182-193 |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Nauka/Interperiodica, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |