Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 4 van 14 gevonden artikelen
 
 
  Fine-line plasma-enhanced processes on the basis of a set of pilot units with a scalable inductively coupled plasma source for use in microelectronics
 
 
Titel: Fine-line plasma-enhanced processes on the basis of a set of pilot units with a scalable inductively coupled plasma source for use in microelectronics
Auteur: Orlikovsky, A. A.
Rudenko, K. V.
Averkin, S. N.
Verschenen in: High energy chemistry
Paginering: Jaargang 40 (2006) nr. 3 pagina's 182-193
Jaar: 2006
Inhoud:
Uitgever: Nauka/Interperiodica, Moscow
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 4 van 14 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland