|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 30 gevonden artikelen
| Titel: |
Interrelation between the Parameters of Chemical Vapor Deposition, Properties, and Structure of Borophosphosilicate Glass Films Used in the Silicon Integrated Circuit Technology |
| Auteur: |
Vasilev, V. Yu. |
| Verschenen in: |
Glass physics and chemistry |
| Paginering: | Jaargang 29 (2003) nr. 5 pagina's 461-470 |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic Publishers-Plenum Publishers, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 30 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |