|
Improved Ga2O3 films on variously oriented Si substrates with Al2O3 or HfO2 buffer layer via atomic layer deposition |
|
|
|
Titel: |
Improved Ga2O3 films on variously oriented Si substrates with Al2O3 or HfO2 buffer layer via atomic layer deposition |
Auteur: |
Liu, Xiangtai Wang, Jiayang Xu, Zhitian Wang, Shaoqing Jia, Yifan Lu, Qin Wang, Zhan Guan, Yunhe Li, Lijun Chen, Haifeng |
Verschenen in: |
Micro and nanostructures |
Paginering: |
Jaargang 193 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|