|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Industrial data-driven machine learning soft sensing for optimal operation of etching tools |
| Auteur: |
Ou, Feiyang Wang, Henrik Zhang, Chao Tom, Matthew Bom, Sthitie Davis, James F. Christofides, Panagiotis D. |
| Verschenen in: |
Digital chemical engineering |
| Paginering: | Jaargang 13 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |