Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 20 van 54 gevonden artikelen
 
 
  Enhancement of electrical properties of morphotropic phase boundary in Hf1-xZrxO2 films by integrating Mo electrode and TiN interlayer for DRAM capacitors
 
 
Titel: Enhancement of electrical properties of morphotropic phase boundary in Hf1-xZrxO2 films by integrating Mo electrode and TiN interlayer for DRAM capacitors
Auteur: Park, Ju Yong
Choi, Hyojun
Lee, Jaewook
Yang, Kun
Lee, Sun Young
Han, Dong In
Jeon, Intak
Jung, Chang Hwa
Lim, Hanjin
Lee, Woongkyu
Park, Min Hyuk
Verschenen in: Applied surface science advances
Paginering: Jaargang 27 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2025
Inhoud:
Uitgever: The Author(s)
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 20 van 54 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland