|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 12 gevonden artikelen
| Titel: |
Process study and the lithographic performance of commercially available silsesquioxane based electron sensitive resist Medusa 82 |
| Auteur: |
Mpatzaka, Th. Zisis, G. Raptis, I. Vamvakas, V. Kaiser, C. Mai, T. Schirmer, M. Gerngroß, M. Papageorgiou, G. |
| Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
| Paginering: | Jaargang 8 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2020 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Author(s) |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 12 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |