|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 3 gevonden artikelen
| Titel: |
Regional proximity effect correction for replicating 28 nm lines/spaces in HSQ as dielectric diffraction gratings with high aspect ratio |
| Auteur: |
Wu, Qingxin Yuan, Wentao Chen, Qiucheng Quan, Hao Chen, Yifang |
| Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
| Paginering: | Jaargang 26 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2025 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 3 gevonden artikelen
| << vorige |