|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 36 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterization of the dynamics of encapsulated silicon MEMS devices using low-coherence heterodyne LDV technology |
| Auteur: |
Wolfer, Marco Giesen, Moritz Heilig, Markus Seyfried, Volker Winter, Marcus |
| Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
| Paginering: | Jaargang 19 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Polytec GmbH, Polytec-Platz 1-7, 76337 Waldbronn, Germany |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 36 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |