|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 36 van 36 gevonden artikelen
| Titel: |
Water-soluble bio-sourced resists for DUV lithography in a 200/300 mm pilot line environment |
| Auteur: |
Servin, Isabelle Teolis, Alexandre Bazin, Arnaud Durin, Paule Sysova, Olha Gablin, Corinne Saudet, Benoît Leonard, Didier Soppera, Olivier Leclercq, Jean-Louis Chevolot, Yann Tiron, Raluca Delair, Thierry Trombotto, Stéphane |
| Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
| Paginering: | Jaargang 19 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Author(s) |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 36 van 36 gevonden artikelen
| << vorige |