|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 36 gevonden artikelen
| Titel: |
Microfabrication of double proof-mass SOI-based matryoshka-like structures for 3-axis MEMS accelerometers |
| Auteur: |
Garcia, Inês S. Fernandes, José Queiroz, José B. Calaza, Carlos Moreira, José Dias, Rosana A. Alves, Filipe S. |
| Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
| Paginering: | Jaargang 19 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 36 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |