|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 36 gevonden artikelen
| Titel: |
Dry release of MEMS origami using thin Al2O3 films for facet-based device integration |
| Auteur: |
Zhang, J. Reif, J. Strobel, C. Chava, P. Erbe, A. Voigt, A. Mikolajick, T. Kirchner, R. |
| Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
| Paginering: | Jaargang 19 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 36 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |