|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Etch mechanism of an Al2O3 hard mask in the Bosch process |
| Auteur: |
Drost, Martin Marschmeyer, Steffen Fraschke, Mirko Fursenko, Oksana Bärwolf, Florian Costina, Ioan Mahadevaiah, Mamathamba Kalishettyhalli Lisker, Marco |
| Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
| Paginering: | Jaargang 14 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |